文章摘要:本文搭建了基于气体折射率方法的气体压力测量装置，气体压力测量区间为10kPa至100kPa，并采用双腔比对方法对装置进行检验。通过将两个真空腔体分别控温，并且真空连通，以保证两个腔内气体压力相同。以高纯氮气（6N）为气体介质，在不同气体压力条件下，得到了双腔对比测量的初步结果。结果显示，基于光学方法的气体折射率压力计重复度好于30ppm，显著好于商用电容式薄膜压力计，说明该方法具有很大潜力。本文还分析了测量中的误差来源，并计划通过改进系统设计以提高测量精度。

文章关键词:

论文分类号:TH823.2

文章来源：《现代仪器与医疗》 网址: http://www.xdyqyyl.cn/qikandaodu/2022/0121/1735.html